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第376章 极紫外光刻机

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要材料的过程。

完成之后,就能通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶了。

当然,这是最简易的光刻步骤,在实际生产制造中,比这复杂了上百倍。

从开始光刻,到最后洗去残余的光刻胶,几个步骤,就足足花了三个多小时。

当然,这里面也有一些员工刚刚接触新设备,操作不顺手的因素。

当时间来到下午四点半的时候。

车间内,一片惊喜和欢腾的景象。

“出来了,居然真的做出来了!”

“60nm的电路图,居然真的被我们转移到了硅片上。”

“不可思议啊!全华夏能做60nm芯片的企业,不超过三家,而且全是在18年下半年才刚刚突破的技术,还是在实验室里!做到量产的话,得到今年年底,甚至是明年年初去了。”

“是啊,而我们现在,却拥有了一台可以量产60nm芯片的光刻机,如果操作熟练了,速度提上去,再进行交替光刻,一天至少可以造上数百片12寸的圆晶啊!”

“这是一个突破,了不起的突破,如果我们把这里发生的事情,宣布出去,足以震惊整个华夏,乃至是中央都要被惊动!”

华夏在半导体行业,被压了太多年了。

从上个世纪以来,就一直跟在西方国家的屁股后面跑,说是向人家乞讨技术也不为过。

虽然60nm芯片的量产,和45nm芯片的量产,还有一定的差距。

但是,在工艺水平上,也能证明华夏没比inter等落后太多了。

这是一个十分涨士气的突破。

一旁,刘元龙沉声道:“各位,你们难道没有意识到吗?刚才我们用的,只是这台光刻机最底线的精度!”

这话一出,几名兴奋的家伙,立刻止住了话音,转而张了张嘴巴,眼睛立刻挣得大大的。

“是啊,刚才用的还是最低的精度!”

“没错,往上一个刻度的话,岂不是意味着……45nm甚至32nm的芯片也有可能了?”

“不对,我之前看过一篇学术报告,EUV光刻技术的真正领域,是32nm,不,是22nm以下的领域!”

“22nm以下,这……这也太疯狂了吧。”

“……”



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