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201 态度

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光化学反应性能上有明显的提升。

只是,这种提升还达不到理想的状态,等到走出实验室,扩大到中试规模,工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

这便没法大脚步的再往下走,况且,后面也有不少关隘,要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。

如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。

“芯材走在了正确的路上。”

这是来自晶圆制造联盟的评价。

可惜,眼下的局面略显急迫。

阿美严选的压力已经施加过来,后续追加措施也隐约可见,鉴于如此形势,冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设,只要ArF出了成果,初期的成本高一些都没问题。

但是,南大光电、芯刻微材料、新阳等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。

“张总,我们的上一次测试结论已经出来了,现有工艺不适合大规模生产,现在最重要的还是找出问题,看看怎么精细调整配方中的各组分比例,不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐的说道,“不合适啊。”

张汝京一皱眉,没等反驳就听到另一家企业负责人伍彦杰的声音。

“是啊,张总,咱们这个不适合大上快上,后面做验证的过程里本来就容易存在未知数,我理解冰芯的急切,可是,这事,它急不得啊!”伍彦杰苦口婆心。

张汝京听到这两位的话,又见办公室里的其他人不出声,他缓缓说道:“建厂不耽误你们寻找问题,调整配方,你们搞你们的,现在就是合资建厂,两线并举。”

伍彦杰见老头冥顽不灵,无奈道:“张总,这又不是你的中芯,不能搞大上快上啊,搞不出来合适的产品,厂子没效益,你们财大气粗,我们不行啊。”

中芯当年的发展速度很快,搞出了多地布局的战略,后来随着与台记官司的败诉,又碰见金融危机,不得不割肉收缩。

张汝京没有生气,耐着性子的说道:“形势不一样了,芯材做了两年多,晶圆制造联盟帮忙找资源,冰芯和大基金跟着投钱,那时候可以慢慢搞,现在不知道什么时候就被下绊子,不光你们这,其它的替代公司都是这样,我知道你们的心情,也知道你


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