L试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”
“前两年，它一直在各种光刻机会议上介绍它EUV1的进展，08年的时候搞定了动态曝光测试，拿到全晶圆的32nm线/距报告结果，光学系统波像差已经低于0.4nm。”
“EUV的3个核心，光源、镜头、掩膜台，尼康的日本供应商Gigaphoton公司，它的LPP型光源当时已经实现了临时聚焦点IF的60W，和ASML的光源供应商美国的Cymer是不相上下。”
“尼康出了两台EUV1工具，一台在日本芯片联盟Selete，一台在尼康的日本厂里，主要是给英特尔用。”
“这么说吧，你翻到最后，当时尼康与ASML的差距大概是18个月。”
随着方卓的话，孔豫也把文件翻到了最后，对于尼康光刻机的分析结论是曾经的18个月差距。
他不禁问道：“后来呢？”
“后来就是现在了。”方卓笑道，“ASML有更激进的工程化策略，现在是完成从ADT试验机到0.33NA的预生产型EUV光刻机NXE:3100的跳跃，三星已经有3100，比利时也有，台记今年的应该正在组装，下一步就是继续迭代了。”
孔豫皱眉：“那尼康还挺可惜的。”
“也可惜，也不可惜吧。”方卓淡淡的说道，“尼康EUV计划的很多信息是来自它的宣称，有部分可能是PPT，我们庐州厂之前采购尼康的光刻机，总是有问题，后来也只能用ASML的，两家设备的竞争力可见一斑。”
冰芯是与尼康打交道的，只是交道有点越打越远的意思。
尤其庐州厂是追逐先进制程，能用全世界最好的，绝对不会用第二好。
方卓看向重新翻阅文件的孔豫，说道：“尼康烂掉更好，我们这次就是要切片，尽量把有用的切回来，切不回来的就想办法合作，比如，日本做光源的Gigaphoton公司，公司搞不来，搞团队，团队搞不来，搞人，这个事具体要怎么做……嗯……”
孔豫认真的用自己的理解接上了话：“我明白，浑水摸鱼，巧取豪夺。”
方卓沉默一会，只能举起茶杯：“得道多助，因势利导。”
孔豫包装了下措辞，也举起茶杯：“好，方总，我与财务造假不共戴天！”
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