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980 行程(4k)

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这是冰芯的设备厂商,老板纯粹是让自己陪着了。

他问了句:“是去下订单吗?”

“看看。”方卓不自觉叹了口气,之前还有一台没发货呢,“也就随便看看。”

潘犇对于不了解的事就不多说了。

方卓也没有多谈这个的意思,他转道去荷兰属于临时计划,冰芯有从ASML采购设备,但交付一直不是第一批次,ASML与台记那边有很深入的合作,这是冰芯想拿而拿不到的。

即便ASML在研发投入和资金上出现了紧张的问题,它寻求的方案也是台记、三星等厂商。

在ASML的合作厂商里,台记、三星、Imec、英特尔、东芝、海力士的序列都在前面。

方卓想解决这个问题,最起码,掏钱之后能尽快拿到货吧……但一直没有太合适的解决机会,这就有点让人心急。

尤其,ASML去年成功把首台EUV光刻机NXE:3100交付给了三星,这就更让人心急了。

还有,ASML今年要继续交付给台记,据说还有4台实验性的光刻机将会逐渐交付给其它厂商,这里面依旧没有冰芯,心急基本就到了一个十分高的位置。

根据目前拿到的信息和消息,因为光源功率的提升、透射率的提升和双工作台的新设计,NXE:3100在同样的制程条件下可以把晶圆加工产出量推高至早前的AlphaDemoTool光刻机的20倍左右。

这种提升不可谓不可怖,也由不得有心往前追赶的冰芯不重视。

像这样的EUV光刻机,ASML开出的价格是4400万欧元,之前邱慈云在欧洲谈采购,听到价格连一丝一毫的犹豫也没有就答应下来。

可是,发货真是遥遥无期。

当然,这样的技术应用于量产也需要很久,NXE:3100从ASML发出之后单单组装就需要不少4个月的时间,后续的可靠性测试、量产标准测试更是需要时间。

按照邱慈云提供的分析,即便是台记,这一系列的实验、研究、改进,想真正的导入到量产里至少也是五六年之后的事情,甚至,也不一定就能量产出来。

但冰芯既然致力于往前追赶,就没法忽视这方面的巨大提升,这种台记与ASML联合研究中的技术积累、实际生产经验、生产工艺的运用都必将持续的绽放光彩。

目前是有来自ASML的公开信息,也有业界流传的消息,还有冰芯内部的半猜半蒙,可这确


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