用RuTa和RuNg薄膜阻挡层的特性来为RuTi作参照,它的合金薄膜在Cu阻挡层方面很不错。”
孙若泷、罗明华等领导都听得连连点头。
怪不得方总能一举杀入半导体,这还是有一定基础的。
旁边的邱慈云听着这熟悉的话,强忍着笑,方总别的不说,记忆力是真的出众。
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用RuTa和RuNg薄膜阻挡层的特性来为RuTi作参照,它的合金薄膜在Cu阻挡层方面很不错。”
孙若泷、罗明华等领导都听得连连点头。
怪不得方总能一举杀入半导体,这还是有一定基础的。
旁边的邱慈云听着这熟悉的话,强忍着笑,方总别的不说,记忆力是真的出众。