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第二百四十六章 直播!超级光刻机诞生!(2)

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帜asml?

别做梦了,这种事情绝对不可能发生!

高原微笑,面对镜头说道:“老规矩,看产品之前先说技术,我会把这套光刻系统最重要的几项技术,用尽可能简短的描述,介绍给广大的科技爱好者。”

“假设你们听不懂我接下来讲的知识点,也没有关系,日后好好学习就是,至于跳过技术环节,直接看产品?”

“那是绝对不可能发生的,毕竟我们不是娱乐节目,而是一档很严肃的科技直播节目。”

高原说罢,弹幕里顿时一片鸡飞狗跳。

“晕,怎么又讲技术啊?”

“神他喵的严肃!”

“作业已经很多了,求放过小的吧!”

“严肃吗?我其实一直把高老板这档节目当娱乐直播看的。”

“我也是呢!”

“严肃起来的高老板,一点也不可爱!”

面对广大吃瓜群众的呼声,高原理所当然选择了无视,用他坚定沉稳的声音说道:“想了解光刻机,首先就要明白光是如何产生的。”

“请看大屏幕!”

唰~

下一秒,早已准备好的图表出现,根据讲解进度,图表还会变化播放。

高原走上前,手指图表说道:“不同于西方技术,我们的技术路线比较复杂,如图所示,首先将高功率的二氧化碳激光,打在直径三十微米的锡液滴上,通过高功率激光蒸发锡液,然后将蒸汽加热到电子脱落的临界温度,留下离子,再进一步加热,直到离子开始发射光子。”

“具体来说呢,就是首先打开锡液发生器,使锡液滴落入真空室里,脉冲式高功率激光器启动,击中从旁飞过的锡液滴,频率为每秒五万次,目地是使锡液气化。”

“气化瞬间,锡原子被快速电离,产生高强度的等离子体,这时候,收集镜会捕获等离子体发出的辐射,汇聚形成光源,将集中起来的光源传递至光刻系统,经过放大,调整,物镜的折射,最终曝光在硅晶片之上。”



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