行到这步了。”
或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。
再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。
说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。
这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”
徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。
当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”
他这话自然不是谦虚。
这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。
比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。
如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。
这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。
基本晶圆厂绝对不会冒险。
否则所造成的损失将直接影响到利润。
侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。
随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。
将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。
后面则需要溶解光刻胶。
使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。
清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。
尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。
虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。
在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。
并丢弃瑕疵芯片。
余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。
把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。
虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。
接下来则只需要
本章未完，请点击下一页继续阅读！