息,大家也只能耐心等待。
就这样时间很快进入到六月份,在光电技术研究所极紫外光刻机项目组全体成员的共同努力下,首台国产极紫外光刻机终于完成组装调试。
毫无疑问这对于大家来说是个值得庆贺的日子,这么长时间的付出终于迎来了回报。
不过这个消息依旧处在保密状态中,并没有立刻对外界进行公布。
因为极紫外光刻机完成调试组装,还不算真正意义上的成功。
还需要使用光刻胶蚀刻晶圆片进行芯片制造测试。
只有顺利完成测试达到相应的成品率,这台极紫外光刻机才算真正满足要求,可以正式交付使用。
为了见证这一里程碑时刻,除了项目组成员研究所所长全部到场外,科学院院长侯盛昌得到消息后也同样第一时间飞来了锦城。
……
(本章完)
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